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选用真 空泵有注意的几大特点


选择真空泵注意事项编辑本段 1、真空泵 工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或
 
者采取防振动措施。   
2、了解被抽气体成分,气体中 含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被 抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考 虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。  
 3、真空泵 在其工作压强下,应能排 走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。   
4、正确地组合真空泵。由于真 空泵有选择性抽气,因而,有时选 用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补 充才能满足抽气要求。如钛升 华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极 型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使 真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真 空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需 要把泵组合起来使用。   
5、真空设 备对油污染的要求。若设备 严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一 些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达 到清洁真空要求。   
6、正确地 选择真空泵的工作点。每种泵 都有一定的工作压强范围,如:2BV系列水 环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg(绝压),在这样宽压强范围内,泵的抽 速随压强而变化(详细变 化情况参照泵的性能曲线),其稳定 的工作压强范围为760~60mmHg。因而,泵的工 作点应该选在这个范围之内较为适宜,而不能让它在25~30mmHg下长期工作。   
7、真空泵 排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环 境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把 油蒸气排到室外。   
8、真空泵的工作 压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度,选用的 真空泵的极限真空度至少要2mmHg,最好能达到1mmHg。通常选 择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。  
 9、真空泵的价格、运转及维修费用。
1、真空泵的工作 压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度,选用的 真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选 择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。 2、正确地 选择真空泵的工作点。每种泵 都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽 速随压强而变化,其稳定 的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工 作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。 3、真空泵在其工作压强下,应能排 走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。  4、正确地组合真空泵。由于真 空泵有选择性抽气,因而,有时选 用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补 充才能满足抽气要求。如钛升 华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极 型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使 真空装置得到较好的真空度。另外,有的真 空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真 空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需 要把泵组合起来使用。 5、真空设 备对油污染的要求。若设备 严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一 些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达 到清洁真空要求。  6、了解被抽气体成分,气体中 含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被 抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考 虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。  7、真空泵 排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环 境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把 油蒸气排到室外。 8、真空泵 工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择 无振动的泵或者采取防振动措施。 9、真空泵的价格、运转及维修费用。

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